可先用氮氣或其它惰性氣體將設備壓力提高， 然后用純氦氣或氦氣混合氣把測試設備的內壓增加至測試壓力且 應使設備內部至少含有10%-20%的氦氣含量。隨著壓力容器出口產品的增加及各制造企業(yè)對產品質量的重視，氦質譜檢漏儀的方法在我國的壓力容器制造業(yè)中的應用也逐年遞增。漏孔距離質譜室的距離檢漏儀反應時間也不同，所以噴氦氣應先從靠近檢漏儀的一側開始由近至遠進行。
檢漏步驟為: 若步驟1和2均未檢出漏點，就要考慮各個真空泵性能的問題，首要檢查機械泵油、羅茨泵油是否缺少，如果泵油缺少會大大降低泵的抽氣性能，其次檢查機械泵的閥片,通過向機械泵排氣口噴吹氦氣來檢測其閥片的密封性。擴散泵油或擴散泵加熱器異常也會造成極限壓不合格。還應檢查真空計是否準確以及真空系統(tǒng)設計是否滿足技術要求。
為了避免事故的發(fā)生，化工廠商在投建廠房時就應該對化學管道和設備做氣密檢漏并且后期生產中也需要定期檢漏。對檢漏方法的要求：穩(wěn)定性好，即可以在足夠長時間內靈敏度；所用“示蹤氣體”在空氣中含量低，無毒，不腐蝕零件；使用氦氣噴在管道密封接頭，焊縫處噴氦，如果被檢管道某處有泄漏，當氦噴到漏孔上時，氦氣會立刻被吸入到真空系統(tǒng)，從而擴散到質譜室內，氦質譜檢漏儀感應到氦就會立刻有響應。從而達到了檢漏的結果。
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